PENILAIAN LAPISAN SILIKON OKSIDA

Terdapat tiga ciri penting bagi suatu lapisan Silikon Dioksida, SiO₂ yang ditumbuhkan, iaitu ketebalan, keseragaman dan sifat elektriknya. Ciri-ciri ini penting dalam fabrikasi litar bersepadu.

Pengukuran Ketebalan

Kaedah optik digunakan untuk mengukur ketebalan lapisan oksida. Kaedah tersebut ialah dengan menggunakan

• Carta Warna


• Elipsometeri


• Pengukuran Tingkat

Carta Warna - Jadual

Kaedah ini adalah yang paling mudah dengan memerhatikan warna lapisan oksida di bawah cahaya putih secara bersudut tepat. Warna lapisan oksida berbeza mengikut ketebalannya seperti dalam Jadual. Pada ketebalan tertentu ulangan warna berlaku, oleh yang demikian tertib turutan perubahan warna seperti dalam jadual perlu diketahui untuk mencerap ketebalan sebenar. Kaedah ini hanyalah untuk membuat anggaran ketebalan sahaja.

Elipsometer - Gambar

Teknik pengukuran ini lebih tepat berserta dengan indeks bias juga boleh diukur di samping ketebalannya. Rajah 16 menunjukkan kaedah elipsometer di mana pancaran laser ditujukan pada permukaan oksida. Elipsometri berfungsi dengan mengesan perubahan keadaan pengutuban cahaya tuju pada sampel. Kaedah ini lebih digemari kerana kepekaannya, cepat, tidak merosakkan sampel dan teknik ini tidak memerlukan persediaan tertentu pada sampel sebelum pengukuran dilakukan.

Rajah 16 : Kaedah elipsometri, L : Laser, P : Polariser,
S : Sampel, A : Pengalisis, D : Pengesan

Pengukuran Tingkat

Pengukuran tingkat hanya boleh dilakukan jika terdapat tingkat lapisan oksida di atas substrat. Tingkat boleh dibuat dengan menopeng pemukaan substrat semasa pemendapan oksida dilakukan. Tingkat yang terbentuk akan dimbas dan perbezaan ketinggian di antara substrat dan lapisan oksida memberikan ketebalan lapisan tersebut. Keburukan teknik ini kerana memerlukan penyediaan sampel sebelum pengukuran boleh dilakukan.