PENGENALAN

PROSES PENGOKSIDAAN TERMA

Proses Pengoksidaan Basah

Proses Pengoksidaan Kering

Proses Pengoksidaan Terma Pantas (RTP)

SIFAT SILIKON OKSIDA SEBAGAI TOPENG

TOPENG PENGOKSIDAAN SILIKON NITRID

KESAN ANTARAMUKA OKSIDA-SILIKON

PENILAIAN LAPISAN SILIKON OKSIDA

RUJUKAN

SEKALUNG KASIH